Главная > Продукты > Лабораторное оборудование > RTP-1000-F3LV Система химического осаждения из газовой фазы (CVD) с быстрым нагревом
RTP-1000-F3LV Система химического осаждения из газовой фазы (CVD) с быстрым нагревом
- SHANGHAI
- T/T Кредитная карта
Вам может понравиться
-
TU1202 двучастотный ультрафиолетовый трансиллюминатор
-
HNY-1102C Вертикальный инкубационный вибратор
-
SY-601 цифровая перегретая масляная баня
-
HCF07-IIN Флап (стерильный) Гомогенизатор
-
WINNER208 анализатор воздушного содержания в твердеющей бетонной смеси
-
GSL-1800X-ZF4 Аппарат для вакуумно-выпарного нанесения покрытий, оборудование для нанесения покрытий
Описание продукта
Краткое описание
Система CVD с быстрым нагревом RTP - 1000 - F3LV разработана для отжига полупроводниковых подложек, солнечных элементов и других образцов (размером до 3 ") и оснащена тремя расходомерами и механическим насосом. Этот аппарат использует инфракрасные лампы мощностью 9 кВт для нагрева, максимальная скорость нагрева достигает 100 °C/с, оснащен интерфейсом RS485, управление и операция осуществляются с помощью программного обеспечения на компьютере, а также отображается кривая температуры.
Особенности
1. Двойной стальной волоконный материал на основе Al2O3, не требует водяного или воздушного охлаждения.
2. Внутренняя поверхность печи покрыта импортируемым высокотемпературным алюминиевым оксидным покрытием, что может повысить эффективность нагрева оборудования и продлить срок службы прибора.
3. Регулятор PID позволяет задать 30 участков температурного процесса нагрева и имеет функции защиты от перегрева и аварийного отключения.
4. Пройдена сертификация CE.
Технические параметры
1, мощность: однофазный переменный ток 50/60Гц 9КВт 208-240В
2, диаметр кварцевой трубки: 110мм, внутренний диаметр 103мм, длина 380мм
3, нагревательный элемент: инфракрасная трубка, диаметр 10мм, длина 300мм
4, нагреваемая площадь: 300мм
5, рабочая температура: максимальная температура 1100
6, точность температурного контроля: + 0,5
7, максимальная скорость нагрева: от комнатной температуры до 800°C со скоростью 50°C/с, от 800°C до 1000°C - 10°C/с
8, регулятор температуры: тиристорный (SCR) автоматический PID-регулятор
9, вакуумный фланец: нержавеющая сталь, с водяным разъемом и игольчатым клапаном, двухслойное высокотемпературное уплотнение из резинового кольца, при длительной работе при температуре >900°C необходимо охлаждение водой, расход циркулирующей воды 0,5м3/ч
10, вакуум: 10-3торр
11, расходомер: 3 штуки, диапазон 40-400см3/мин, точность 4% от полного шкалы
Уважаемый клиент:
Мы, Xi’an Yima Opto-electrical Technology Com.,Ltd. - это комплексное хозяйственное предприятие, занимающееся разработкой, производством и торговлей, с более чем 20-летней историей.Наша область деятельности охватывает различные области, такие как биохимический анализ, охрана окружающей среды, промышленное тестирование, биологические науки, медицинские приборы и инструменты, интернет-технологии и некоторые передовые науки.
В результате долгого развития у нас есть национальная система ресурсов различных профессиональных талантов, обильное предложение различных компонентов и деталей, а также специальных материалов, полный набор производственных и обработочных оборудования, сильная технологическая стандартизация и полная система обеспечения качества.
